國內(nèi)真空泵制造業(yè)的開展空間寬廣

真空泵是一個量大面廣的商品，產(chǎn)值很大，產(chǎn)值不高，但它確實(shí)是一個直接影響到真空成套設(shè)備功能質(zhì)量的必不可少的根底商品。真空泵從高/超真空到粗/低真空，其商品大致可分14大類：

高/超真空——低溫泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、分散泵。

中真空——干泵、雙級旋片泵、羅茨泵、油增壓泵、水蒸氣噴射泵。

粗/低真空——單級旋片泵、滑閥泵、液環(huán)泵、往復(fù)式真空泵。

真空泵的商場依據(jù)用戶的需求而發(fā)作動態(tài)改變。商場增加的主要驅(qū)動力來自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速開展以及干泵和分子泵使用范疇的日益擴(kuò)大。

當(dāng)前，全球真空泵商場的年銷售額約20億美元，年增加率在7%擺布。

中國出產(chǎn)真空泵的廠家很多，悉數(shù)真空泵的年銷售額大約在1.5億元擺布，僅相當(dāng)于美國Kinney公司一家真空泵的年銷售額。經(jīng)過對全球真空泵商場的剖析咱們能夠看出，各類真空泵的商場及使用范疇都在不斷改變和開展。中國真空泵制造業(yè)有著悠長的前史和雄厚的根底，國產(chǎn)真泵現(xiàn)已在各個不一樣范疇得到使用并經(jīng)過驗(yàn)證，有些泵還出口國外，得到國外用戶的認(rèn)可并受到好評，應(yīng)該說中國真空泵制造業(yè)在國內(nèi)外商場依然有著巨大的開展空間。

1.液環(huán)泵

盡管液環(huán)泵歸于粗真空泵，但在中國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等范疇依然有著很大的商場。在國外，液環(huán)泵的銷售額占悉數(shù)真空泵商場的14%，僅次于干泵，所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在中國投資建廠或樹立銷售網(wǎng)絡(luò)，不斷擴(kuò)大在中國的商場份額。因?yàn)橐涵h(huán)泵大多數(shù)是鑄件，加工需求也不高，屬勞動密集型商品，所以國產(chǎn)液環(huán)泵在報(bào)價(jià)上有競賽優(yōu)勢，關(guān)鍵是要改進(jìn)設(shè)計(jì)，減小體積，減輕分量，進(jìn)步功率，下降能耗。

2.滑閥泵

因?yàn)榛y泵對比經(jīng)用、牢靠，國內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機(jī)以及枯燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級泵，可是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠都在中國尋覓合作伙伴。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入國際商場，必須進(jìn)一步下降泵的振蕩噪聲，根絕噴油和漏油，進(jìn)步滑閥泵長時刻運(yùn)轉(zhuǎn)的牢靠性。

3.直聯(lián)旋片泵

跟著真空技術(shù)在各個使用范疇的不斷擴(kuò)大，直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大。因?yàn)檫@種泵數(shù)量很多，加工安裝工作量很大，報(bào)價(jià)又很低，所以有的國外真空廠商在中國樹立專業(yè)廠。國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過關(guān)，報(bào)價(jià)又遠(yuǎn)比國外的泵便宜，所以國產(chǎn)泵依然有競賽優(yōu)勢，關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片資料和真空泵油的功能質(zhì)量問題，確保直聯(lián)泵在高速、高溫下功能穩(wěn)定和運(yùn)轉(zhuǎn)牢靠，一起還要進(jìn)一步進(jìn)步國產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。

4.羅茨泵

從國外羅茨泵出產(chǎn)狀況來看，國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超越5%，這5家總計(jì)才20%，羅茨泵產(chǎn)值不大，但國外羅茨泵的報(bào)價(jià)遠(yuǎn)比國產(chǎn)泵要高得多。當(dāng)前，國內(nèi)外幾乎一切大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時刻、進(jìn)步出產(chǎn)功率都配有羅茨泵，所以國產(chǎn)羅茨泵必定要在占據(jù)國內(nèi)商場根底上設(shè)法進(jìn)入國際商場，這樣就必須進(jìn)一步下降國產(chǎn)羅茨泵的振蕩噪聲，徹底解決軸封漏油問題，改進(jìn)泵的外觀質(zhì)量，進(jìn)步泵內(nèi)的光潔度和清潔度。另外，還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在進(jìn)步轉(zhuǎn)速的狀況下長時刻運(yùn)轉(zhuǎn)的牢靠性。

當(dāng)前，國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵開展很快，技術(shù)上現(xiàn)已成熟。因?yàn)檫@種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體經(jīng)過管道回來泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子，從而使緊縮熱得平衡，所以這種泵能夠直排大氣。為了滿意不一樣極限真空度的需求，這種泵能夠串聯(lián)使用，通常前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所到達(dá)的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級。這種真空泵因?yàn)樵诒们粌?nèi)沒有工作介質(zhì)，實(shí)際上也是歸于干泵。當(dāng)前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組現(xiàn)已在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動平衡、航空航天空間模仿等設(shè)備上得到了長時刻運(yùn)轉(zhuǎn)的檢測，所以應(yīng)該在國內(nèi)大力推廣和使用。

5.分子泵

分子泵在國外半導(dǎo)體范疇里的很多技術(shù)場合是用來替代低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等設(shè)備都彩 復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。

因?yàn)榉肿颖脤λ魵獾某樗賰H為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時刻比低溫泵長。為了進(jìn)步抽速，國外在分子泵的進(jìn)口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，別的氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜設(shè)備上使用，既進(jìn)步了出產(chǎn)功率又改進(jìn)了膜層質(zhì)量。跟著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜工業(yè)和科學(xué)研討工作迅速開展，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)開展的要點(diǎn)。首要，分子泵要從小到大樹立完好系列，并研討開發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿意不一樣場合的需求。

6.干泵

國外干泵商場的不斷增加，其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體職業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜工業(yè)的迅速開展。在日本，半導(dǎo)體職業(yè)已悉數(shù)用干式真空泵替代油封式機(jī)械泵，歐美半導(dǎo)體職業(yè)45%以上用干式真空泵替代了油封式機(jī)械泵，大大進(jìn)步了商品的功能和質(zhì)量。為了滿意不一樣使用范疇和不一樣工況的需求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì)，當(dāng)前國產(chǎn)干泵的使用還缺乏1%，國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵悉數(shù)從國外進(jìn)口，其報(bào)價(jià)非常貴重。所以，中國應(yīng)大力研討開發(fā)干泵，使干泵變成中國真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增加點(diǎn)。